中微公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司,致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。
中微公司主要拥有五类设备产品,分别是CCP电容性刻蚀机、ICP电感性刻蚀机、深硅刻蚀机、MOCVD、薄膜沉积设备、VOC设备。
在刻蚀设备业务的带动下,2023年中微公司业绩创历史新高,公司实现营业收入62.64亿元,同比增长32.15%;实现归母净利润17.86亿元,同比增长52.67%;公司总资产约215.26亿元,较报告期初增长7.44%。报告期内,中微公司新签设备订单83.60亿元,同比增长32.30%,其中刻蚀设备新增订单约69.5亿元,同比增长约60.1%。
报告期内,中微公司的刻蚀设备业务实现营收47.03亿元,同比增长49.43%。中微公司表示,其刻蚀设备技术已达到5nm及以下,设备具备了更先进点的工艺水平,设备收到了多家客户的批量订单,市场占有率持续提升。
MOCVD设备营收则达到了4.62亿元,同比下降约33.95%。中微公司表示,公司的MOCVD设备在Mini LED等氮化镓基设备领域市场占有率较大份额,此外公司还在继续开发用于氮化镓、碳化硅等功率器件及Micro LED器件制造的MOCVD设备。报告期内,受终端市场波动影响,2023年MOCVD设备订单同比下降约72.2%。
目前,在LED领域,中微公司的MOCVD设备包括了用于LED蓝光照明的PRISMO A7、用于深紫外LED的PRISMO HiT3、用于MiniLED显示的PRISMO UniMax等产品。其中 PRISMO UniMax 产品自2021年6月正式发布以来,凭借高产量、高波长均匀性、高良率等优点,受到下游客户的广泛认可。
而针对Micro LED应用的MOCVD设备目前开发顺利,实验室初步结果实现了优良的波长均匀性能,并于报告期内交运样机至国内领先客户开展生产验证。
在氮化镓、碳化硅领域,中微公司于2022年推出了用于氮化镓功率器件生产的 MOCVD设备PRISMO PD5,已交付至国内外领先客户,并取得了重复订单。而碳化硅功率器件外延生产设备正在开发中,报告期内,中微公司取得较大的技术进展,实现了优良的工艺结果,正与多家领先客户开展商务洽谈,预计2024年第一季度将开展客户端生产验证。
报告期内,中微公司继续加大研发与产能建设与投入,其研发费用提升至12.62亿元,同比增长35.89%。项目建设方面,其位于南昌的约 14万平方米的生产和研发基地已于2023年7月投入使用;在上海临港的约18万平方米的生产和研发基地部分生产厂房及成品仓库已经于2023年10月投入使用;上海临港约10万平方米的研发中心暨总部大楼也即将封顶,未来将进一步提升中微公司的综合竞争力。