这个由经济产业省主导，由140间日本企业、团体联合开发的新世代制造系统，目标是透过成本与技术门槛的大幅降低，让汽车与家电厂商能自己生产所需的半导体及感应器。形同推翻台积电董事长张忠谋30年前所创的晶圆代工模式，重回早年飞利浦、Sony等大厂都自己生产半导体的垂直整合时代。

贩卖这种生产系统的，是日本横河电机集团旗下的横河解决方案。每台外型流线、美观的制造机台，大小约与饮料自动贩卖机差不多，但各自具备洗净、加热、曝光等功能。每一台机器，都相当于一条半导体制造的生产线。一条「迷你晶圆厂」产线，所需的最小面积是大约是两个网球场的大小。也仅是一座12吋晶圆厂的百分之一面积。

「迷你晶圆厂」能够做到如此廉价、体积小，首先是挑战业界常识的创新做法──不需要无尘室。

半导体晶片上如果沾有超过0.1微米的灰尘就算是不良品，为此，制造室内一定要保持超高洁净度。维持无尘室需要大量的电力，因此不只投资金额很高、维持费用也相当惊人。所以半导体不大量生产的话，很难获利。

产业技术总合研究所的原史朗挑战了这项业界的常识。「半导体工厂真的需要无尘室吗？明明需要隔绝灰尘的只有晶圆而已。」抱持着这项疑问，原史朗从1990年代开始构想「迷你晶圆厂」。

几年后，原史朗终于开发出局部无尘化的关键技术，并将此成果制出特殊运输系统「Minimal Shuttle」。利用电磁铁控制开关，几乎不会有灰尘进入。

「迷你晶圆厂」的另一个特点，是不需要用到光罩，这又可大幅降低成本。Minimal Fab的概念，就是那样的时代十分需要的多种少量生产系统。要处理的晶圆大约直径0.5英吋，比1日圆硬币还要小。因为晶圆很小，所以生产装置也要跟着变小。

晶片从晶圆上切割下来，大约1平方公分大小。「迷你晶圆厂」的年产量大约是50万个，一般的12吋晶圆厂则是两亿个。如果只生产1万个，市面上每一晶片要收1万日圆，但「迷你晶圆厂」只要收1,200日圆。

这项「迷你晶圆厂」的研发计画，源自2010年。从2012年开始的3年内，获得经济产业省的预算，计画也随之通过。现在包含许多制造大厂在内，共140间企业团体参与。虽然是由横河解决方案在贩售，可是参与开发制造的日本中小企业大约有30间，这也是该设备的一大特色之一。

目前「迷你晶圆厂」的半导体前段制程所需的设备，已经大致研发完毕，开始正式贩售。预计2018年以前，切割晶片功能与封装等的后段制程设备也会开发完成。