据《LED照明世界》记者了解,奚明博士是中央千人计划专家,美国哥伦比亚大学化学博士,美国麻省理工学院博士后,曾任美国应用材料公司 (Applied Materials)副总裁,在这方面有丰富的经验。
对于设备运行的一些最新动向和细节,奚明博士向记者介绍说:“由于最近璨扬光电的产品型号有所变化,目前理想能源正在协助璨扬光电进行新产品型号的工艺验证工作,预计很快就会投入新产品型号的试量产工作。同时,理想能源与映瑞光电就使用分步法生产工艺生产外延片达成一致;即:使用理想能源MOCVD设备生长底层,搭配其他设备生长LED结构层,这样可以充分发挥理想设备产能大的优势,大幅提升生产效率。经初步验证,相较目前工艺,在相同投入的前提下,采用分步法生产工艺可以提升50%以上的生产效率。同时,由于生长底层的工艺相对简单、成熟;对设备的要求相对较低,可以大大缩短设备验证时间并尽快投入试生产。目前双方正在加紧工艺的调试和验证工作,以期尽快投入试量产。”
“总的来说,目前理想能源的MOCVD设备在客户处的工艺验证工作较为顺利,处于产业化的前期阶段;预计设备将于近期于客户处陆续投入试量产,这将标志着理想能源的MOCVD设备真正开启产业化的大门。”理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明对未来的发展保持乐观。
记者致电上海映瑞光电负责人了解相关情况,可是对方以签订保密协定为由拒绝透露。只是提及“国产设备可能会在以后三年左右有这么一个机会”。
从上面可以了解到,虽然国产设备已经发运给客户,但是需要注意的是,设备都是在一些特定的”相关单位”运行,做一个示范而已,很少有国内的芯片企业主动去采购,即便有几个客户,也可能是一种合作关系或者在政策的牵引下,协助国产设备技术验证而进行的一个试产。应该说,到目前为止,国产MOCVD设备是否实现了真正意义上的量产,需要打一个大大的问号,理想与现实或许还存在“温差”,例如中晟光电采取的是以销定产的策略,理想能源还“处于产业化的前期阶段”。
记者在采访的过程中,曾多次要求采访对象说出已经采购国产设备的企业名字,但对方都三缄其口,拒绝透露。那么国产MOCVD设备工艺水平是否已达到生产要求?
技术差距已缩小 而且部分已超越
“从目前客户反馈来看,设备的性能已经达到国外同类设备水平,部分指标(如产能)超过国外同类设备;同时,理想能源也针对客户的反馈进行了设备优化改进,达到或超过了客户的预期(如AlGaN中的铝组分可达85%以上。)”理想能源副总裁兼MOCVD产品部总经理奚明对《LED照明世界》记者表示。
作为一个以技术出身的企业高管,奚明博士还耐心的对记者在设备的性能方面做了详细的解释。据奚明博士介绍,目前理想能源MOCVD设备的单腔产能达到了90片(2英吋),相较美国和德国设备分别提升了66%和30%以上;性价比优势较为突出。
除此之外,奚明博士还补充说,理想能源MOCVD设备的创新和差异化设计特征也突出,在反应气喷淋头、加热单元和温度控制、腔体内耐高温材料组合、系统架构等方面实现了创新,从而使设备的工艺参数在多个方面超越了进口同类设备。例如,在AlGaN材料中Al浓度可高达85%,使其在紫外、深紫外LED及激光器、光电集成及大尺寸硅基衬底上LED生产等新兴领域设备市场上有突出的竞争优势。同时,理想能源充分利用靠近客户和零部件国产化的优势,与客户共同合作改进和优化设备,为客户提供定制化服务,进一步提升客户的工艺水平和降低成本;这些都是进口设备供应商所不能或不愿提供的。