金融界2024年10月22日消息,国家知识产权局信息显示,江西耀驰科技有限公司申请一项名为“Mini-LED芯片及其制备方法”的专利,公开号CN 118763158 A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种MiniLED芯片及其制备方法,涉及半导体光电器件领域。制备方法包括以下步骤:S1、提供外延片,其包括多个预设区域;S2、形成键合层;S3、与第二衬底键合;S4、形成第一通孔;第一通孔远离预设区域的边缘设置,其侧壁呈倾斜状;S5、形成第一接触层;第一接触层覆盖第一通孔的底部及预设长度的侧壁,其仅与P型半导体层形成欧姆接触;S6、形成第二接触层,得到中间体;S7、在中间体上形成DBR层,并在第一接触层和第二接触层所在区域刻蚀形成第二通孔和第三通孔;S8、形成N电极和P电极,得到LED晶圆;S9、将LED晶圆切割,得到MiniLED芯片。实施本发明,可提升MiniLED芯片的光效。
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