中微公司表示，业绩增长主要是公司主打产品等离子体刻蚀设备获得更多国内外客户认可，市场占有率不断提高，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。

另一款主打产品MOCVD设备在新一代MiniLED产业化中，在蓝绿光LED生产线上取得了领先优势。

据悉，2022年MiniLED产业加速扩产，带动中微公司的MOCVD设备业务增长。2022年前三季度，中微公司的MOCVD设备前三季收入为3.88亿元，同比增长约 27.70%，毛利率达35.83%。

其中，去年3月，中微公司收到来自兆驰半导体的52腔Prismo Unimax®MOCVD设备采购订单，至此该MiniLED量产设备的订单数量已超过180腔。

去年10月，中微公司宣布其全球第500台MOCVD成功交付国内LED外延片和芯片研发生产制造商，该设备同样是Prismo UniMax®。

目前，中微公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入生产使用。除最新产品Prismo Unimax®外，中微公司的MOCVD设备还包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。（LEDinside Irving整理）