近日，壹倍科技发布Micro LED晶圆级巨量检测系统α-INSPEC M1000e，该系统可以用于Micro LED晶圆级工艺制程中的发光性能全检。

据介绍，这是继日本、韩国等几家国外公司推出该类型设备后，国内首套自主研发并突破Micro LED芯片巨量检测技术的系统，为我国的新型显示制造装备国产化奠定了必要和坚实的一步。

Micro LED是将传统的LED发光芯片微缩化、阵列化后，可以作为自发光的像素进行显示。相比于传统LCD和OLED具有更优的显示性能，被认为是未来的终极显示技术。Micro LED近年来进入高速发展阶段，特别是大尺寸商用及高阶家用显示，以及AR/VR微型显示等场景的发展，都令Micro LED有了更大施展空间。业内预计，Micro LED在2024年将实现大规模商用化，中国有望冲击800亿元市场规模。

Micro LED晶粒的尺寸在50μm以下，相比传统LED和Mini LED，每一片晶圆上的晶粒数量会呈几何级数增加达到数百万颗，甚至千万颗以上。如何针对Micro LED晶圆级工艺制程生产环节中的全检，以降低后续巨量转移、修复的成本、提升芯片良率，成为产业亟待解决的瓶颈环节。

壹倍科技率先推出国内首套巨量检测系统α-INSPEC M1000e，通过完全自主研发的光学技术，实现非接触式、无损、超快速的检测与分析，能够量测芯片的发光波长、半高宽以及发光强度等详细参数，实现对失效、异常芯片的高效精准检出。检测速度快是该系统的显著优势之一，如整片4英寸晶圆包含数百万颗Micro LED芯片能够在十分钟内检测完。此外验证表明，检测结果具有优异的的稳定性和重复性。

目前国际上已有日韩等少数厂商于近年发布商业化的Micro LED晶圆级检测设备，从规格参数对比效果上，α-INSPEC M1000e具备优于海外设备的综合性能水平。据悉，该系统已与国内多家LED领域头部企业达成合作意向。

Micro LED是LED、显示面板和半导体产业的交汇点，标志着LED行业由传统照明市场向万亿级别的半导体显示市场渗透，由此带来的行业整合无疑将重塑整个供应链体系。

同时，近年来国家以及地方陆续出台了多项政策予以支持，特别是由季华实验室联合国家新型显示技术创新中心等共同筹划的显示制造关键装备研发及产业化行动，简称“璀璨行动”，旨在培育发展上下游产业，推动我国实现从显示制造大国向显示制造强国的战略性转变。

在这样的大背景下，壹倍科技此次率先推出该系统无疑将加速我国新型显示装备国产化的步伐，有助于打破关键装备由国外巨头垄断的局面。

关于壹倍科技

壹倍科技是一家专注于第三代半导体晶圆级检测设备的供应商，公司由多位来自香港中文大学的博士创立，具备物理、材料、光学和自动化等专业研发背景和丰富的半导体设备产业化经验。

该团队致力于以非接触式的光学手段提高第三代半导体衬底、外延及芯片的良率控制水平，并计划陆续推出在Mini LED和SiC领域的非接触式检测设备。