在这两个技术突破的过程中,原子层沉积ALD(Atomic Layer Deposition)技术扮演了非常重要的角色,尤其是对元器件的保护至关重要,ALD技术目前已经广泛使用在集成电路IC与光电产业,尤其是在关键的功能性纳米膜层与芯片器件的保护膜层上。(此次ALD设备,主要与芬兰的设备商Picosun公司合作)
在这两个技术突破的过程中,原子层沉积ALD(Atomic Layer Deposition)技术扮演了非常重要的角色,尤其是对元器件的保护至关重要,ALD技术目前已经广泛使用在集成电路IC与光电产业,尤其是在关键的功能性纳米膜层与芯片器件的保护膜层上。(此次ALD设备,主要与芬兰的设备商Picosun公司合作)