绿、蓝光外延片供货标准
一. 外延片物理尺寸
1. 直径:50.8±0.25mm(2″Φ)
2. 大切边长度:16±1.0mm
3. 厚度:430±25um
二. 外延片物理结构
P-type LayerP-GaNTotal thickness:
430 ± 25um
Etching depth: 11000~13000
Active LayerMQW
N-type LayerN-GaN
SubstrateSapphire
三. 外延片光电特性标准(根据样品测试决定)
检验项目检测条件备注
平均电压小于等于3.3V
圆片中心波长 (nm)@20mA绿光外延片:500nm-535nm
圆片中心波长 (nm)@20mA蓝光外延片:455nm-475nm
绿光亮度(mcd) @20mA,520nm亮度280mcd以上
蓝光亮度(mcd) @20mA,460nm亮度160mcd以上
良率(ESD2000V)>85%
漏电(uA)@-8V)≤1
综合良率>85%
备注:
1、芯片尺寸为8×12mil;
2、ESD测试为人体模式2000v;
3、外延表面为非粗化处理;
4、亮度标准为ITO制程下COW亮度;
5、波长范围可以根据合同要求调整;
四. 外延片表面检测标准
检验项目检测区域检测条件检查方法/仪器备注
表面整片表面颜色均匀聚光灯
异物面积小于4平方毫米(2mm*2mm)
异物个数小于5颗
镜下去边2mm,采用5点检测 有黑点区域小于2,区域内黑点个数小于5颗显微镜2010
六角凸起个数在小于10颗
五. 包装
1. 每盒装25片,每箱装4-5盒;
2. 包装附带相应的产品出厂检测结果(外观,结构,表面,PL和同批次样品光电特性);
3. 外延片上有激光识别编码。
提供LED外延片、芯片全程代工服务
1、LED氮化镓外延片加工成COW
2、LED氮化镓外延片加工成大圆片
3、不同光罩LED氮化镓外延片加工成不同尺寸LED芯片
4、可以指定工艺更改外延片生长条件
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6、外延片减薄抛光服务
我司有完整的外延片、芯片生产加工能力,可以提供LED外延片、LED芯片制定服务及加工
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目前拥有的设备:
外延设备(MOCVD)
1、Aixtron crius 1 (31片机)
1、Aixtron crius 11(55片机)
1、Aixtron G5 (56片机)
1、Veeco K465i (54片机)
芯片设备:
1、黄光设备:全自动曝光机,上光阻机。
2、刻蚀镀膜设备:ICP,PECVD等。
3、蒸镀设备:PVD及光学镀膜机。
4、自动点测机,目检机及分选机。
5、可靠度烧测及测试仪,积分球。
月供应量10万片