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提示信息
适用制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm
气体供应: 流量控制型 ; 双气体通道
射频发生器: 40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: 电脑控制
联系人：
梁小姐
联系电话：
051265163986
电子邮箱：
sales@hexieec.com
邮 编：
215006
公司主页：
www.hexieec.com
公司地址：
苏州市带城桥路158号407室
