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生产型GaNMOCVD设备控制系统软件设计

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  • 文件类型：PDF文档
  • 文件大小：1.1M
  • 更新日期：2014-07-15 11:34
  • 浏览次数：9380   下载次数：0
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详细介绍
对“用于GaN的生产型MOCVD”设备控制系统的软/硬件结构、关键技术进行了描述,介绍了国外几种生产型GaNMOCVD设备控制系统的特点;分析了MOCVD设备控制技术的发展趋势。
 
 
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